<正>高分辨率刻蚀技术对于微机械及微电子器件的加工具有十分重要的意义.虽然光刻技术仍处于主导地位,但近年来许多新颖的微加工方......

约束刻蚀剂层技术(Confinfed Etchant Layer Technique简称CELT)是一种具有距离敏感性及控制保留量等特点的新的微细加工方法,......

微纳米加工技术不仅能实现功能结构与器件的微小型化，也可以构筑具有许多不同于宏观尺度特性的微纳材料和结构。超大规模集成电路、......

高分辨率刻蚀技术对于微机械及微电子器件的加工具有十分重要的意义，而硅是其中极为重要并占统制地位的材料，近年来，扫描电化学显微镜......

根据约束刻蚀加工工艺原理要求,开发了基于LabVIEW软件的微纳米加工系统。系统主要由宏动定位平台、微动定位平台、微力传感器、电......