【摘 要】
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约束刻蚀剂层技术(Confinfed Etchant Layer Technique简称CELT)是一种具有距离敏感性及控制保留量等特点的新的微细加工方法,原则上它能同时满足上述三方面的要求,即可实
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约束刻蚀剂层技术(Confinfed Etchant Layer Technique简称CELT)是一种具有距离敏感性及控制保留量等特点的新的微细加工方法,原则上它能同时满足上述三方面的要求,即可实现分辨率在微米、纳米级的复杂三维微细图形的复制加工.该论文从技术实现的角度初步分析了CELT的可行性;在理论上深化了对约束刻蚀剂层的认识;在实验上通过刻蚀化学体系的选择,加工装置的设计与制作,以及微细加工实验等在实验室完善CELT加工工艺,证明了CELT技术在提高刻蚀加工分辨率、复制复杂三维微细图形及制作超平整面等方面的优越性.
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