约束刻蚀剂层相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

约束刻蚀剂层相关论文

约束刻蚀体系和光腐蚀体系中刻蚀反应动力学的研究

微纳米加工技术不仅能实现功能结构与器件的微小型化，也可以构筑具有许多不同于宏观尺度特性的微纳材料和结构。超大规模集成电路、......

学位

半导体材料约束刻蚀体系光腐蚀体系反应动力学约束刻蚀剂层

基于LabVIEW的微纳加工系统设计与研究

根据约束刻蚀加工工艺原理要求,开发了基于LabVIEW软件的微纳米加工系统。系统主要由宏动定位平台、微动定位平台、微力传感器、电......

期刊

电化学湿印章微纳米加工系统 LabVIEW 约束刻蚀剂层

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