等离子体沉积相关论文
冠心病是由于脂质沉积于血管壁造成的冠状动脉狭窄或阻塞,从而引起的心肌缺血和供氧不足。经皮冠脉成形术(Percutaneous translumin......
用苯(C_6H_6)和三氟甲烷(CHF_3)混合气体作源气体,采用永磁微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWECR—CVD)技术,成功地制备了低介电常......
利用磁过滤等离子体沉积装置 ,结合金属等离子体沉积技术 ,在 Si基底上分别用动态离子束增强沉积和非增强沉积的方法来制备 Nb N膜......
利用阴极真空弧放电技术能够产生高密度的金属等离子体. 经过90度的磁过滤器,可艺除去金属等离子体中的大颗粒微粒,从而为制备高质......
软硬交替的多层膜体系具有超硬、强韧、耐磨、自润滑的优势,能大大提高金属切削刀具在现代加工过程中的耐用度和适应性。设计Al/Ti......
利用有磁过滤器的等离子体沉积装置,在不同温度的Si基底上沉积氮化铌(NbN)薄膜,通过XRD,XPS,SEM等分析,研究了NbN薄膜的表面形貌与微观......
以乙炔为气源,用等离子体基脉冲偏压沉积(plasma based pulsd bias deposition缩写PBPBD)技术进行了不同负脉冲偏压条件下制备DLC......
利用磁过滤等离子体沉积技术在单晶Si和碳钢衬底上生长一层NbN沉积膜,用XPS,XRD和SEM对膜层进行测量和分析,结果表明,沉积膜为δ-N......
本文对应用高气压和低气压等离子体沉积法制造光波导作了评述。首先概略地讨论了光波导的工作原理、类型及其制造要求,接着叙述了......
在内燃机中,由于摩擦产生的输出功率损失达到20%,可见摩擦磨损是影响内燃机燃油效率的关键因素,其中,活塞环-缸套摩擦副产生的摩擦......
<正> 前言随着科学技术的发展,特别是近些年来固体物理和薄膜技术的发展,对利用等离子体进行薄膜制备、晶体生长和蚀刻的研究有了......
介绍了采用90°螺旋管的过滤真空弧等离子体沉积成膜系统,对磁过滤管道的传输特性进行了实验研究.实验观察到,弧源聚焦磁场和过滤管道......
建立了一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积装置 .通过在 90°磁过滤管道和阴极之间加一30~ 60V的正偏压使系统沉积速率得到了大幅度提高 ......
氟碳聚合物(a-C:F)薄膜有着非常广泛的应用价值。该膜具有较好的疏水性,极低的介电常数(1.6-2.1)和生物相融性。作为疏水层应用在纸张......
低温等离子体技术是一种环境友好、极具潜力和发展前景的清洁生产技术,省时高效、节水节能、干态、无污染。它应用于纺织材料处理......
本文介绍了接触血液的聚合物的医学应用和血液相容性材料的定义,讨论了等离子体沉积聚合物膜的特性和应用,特别是在抗凝血材料方面......