微波等离子相关论文
以镀有Mo过渡层的AlO衬底,在微波等离子体增强化学气相沉积(MPCVD)系统中,制备了非晶碳/MoC混合结构薄膜,反应气体为CH和H.在高真......
微波等离子体技术的主要机理是等离子体的发光.它是用频率为2450MHz的微波来激发石英泡壳内的发光物质,使其形成分子能级跃迁,从而......
本文主要介绍了利用ECR-微波等离子溅射沉积技术不同偏压下在45＃钢基体上制备了Zr-N薄膜,并讨论了偏压对薄膜的微观结构和耐蚀性能......
综述了近年来微波技术在陶瓷烧结领域的一些最新研究进展，包括微波加热烧结、微波等离子烧结和微波等离子分步烧结。......
本文用微波等离子化学气相沉积系统（MPCVD）在单晶硅衬底上制备多晶金刚石薄膜，反应气体为CH4和H2。利用扫描电镜（SEM）和Raman光谱研究了......
在真空条件下采用氢气刻蚀二氧化硅形成硅膜,用微波等离子化学气相沉积法在玻璃上生长金刚石薄膜,并用X射线衍射、Raman光谱和光电......
采用常规微波和微波等离子对比烧结ZnO／Bi2O3系压敏电阻发现：两者均可快速成瓷，烧结时间由常规的20h减少到45min；烧结后，ZnO晶粒细小（约1......
以微波激励等离子体对国产高分子多孔聚合物小球GDX－101进行改性，并以光电子能谱及红外光谱图证实其聚合物表面结构确实发生了变化。......
等离子体源低能离子注入的等离子体特性诊断吴桂林雷明凯刘延伟马腾才（大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室１１６０２４）张仲麟（大连理工......
金刚石的成核和生长影响金刚石膜的质量。本文用自制的一种新型的不锈钢谐振腔型微波等离子ＣＶＤ设备，等离子直径为７６ｍｍ，均匀的温度分布使得金......
采用X射线光电子能谱（XPS）、衰减全反射红外光谱（ATR-FT-IR）、薄膜X射线衍射（TF-XRD）和偏光显微镜（POM）研究了微波等离子处理对聚丙烯/炭黑......
日本冶金专家研究出一种在碳化钨表面涂覆金刚石的新方法,即采用微波等离子化学气相沉积法,将碳化钨在850～950℃温度下涂上金刚石。......
本文主要介绍了用微波等离子体化学气相沉积法(以下简称MP CVD法)以甲醇-氢气混合气和丙酮-氢气混合气为源气体,分别以单晶硅的(11......
应用微波等离子化学气相沉积法将薄薄的纳米结构金刚石膜沉积到WC-6％Co硬质合金基体上，可改善合金的耐摩擦性能。基体表面通过金刚石......
大日本印刷和日本微电子开发出了利用印刷技术在PET薄膜等通用塑料基材上形成Cu电路图案的技术。首先使用含有纳米尺寸Cu粒子的墨......
等离子清洗在半导体封装中越来越重要,不同激发机理的等离子存在一定的差异,通过分析直流电流等离子、射频等离子、微波等离子产生......
选用V2O5为前驱物，通过在玻璃片上镀膜，利用高纯氢和高纯氮作为气源，采用微波等离子体增强法，在低温条件下合成了具有优良热致相变特性......
微波等离子灯具有的类似太阳光的连续光谱是其他灯所不能比拟的优点。本文首先探讨和研究了微波等离子灯的光效测定及所得出的结论......
介绍了普通钼粉以及近年来应用于特殊用途的超细钼粉和纳米钼粉的制备原理、工艺流程、粉末特征等,比较了不同制备方法的优缺点.......
利用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法分别在CH4／H2／Ar体系、CH4／H2／O2体系和C2H5OH／H2体系中进行纳米金刚石（NCD）薄膜的制备研究。采用原......
采用微波等离子化学气相沉积法，使用甲烷、氢气和二氧化碳作为反应气氛进行金刚石膜的沉积研究。实验中通过添加并改变气体组分中CO......
简要介绍了空间动力装置的分类及其特点，重点分析和讨论新型空间动力装置－微波等离子推进器（ＭＰＴ）的基本原理，结构特征和应用前景。分析现有......
微波等离子清洗作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免静电损伤。简述了微波等离子清洗的原理及特......
在10kW微波等离子化学气相沉积装置中,采用甲烷和氢气作为气源,在直径为50mm的P型(100)单晶硅片上进行了不同甲烷浓度条件下金刚石......
介绍了普通钼粉以及近年来应用于特殊用途的超细钼粉和纳米钼粉的制备原理、工艺流程 ,粉末特征等 ,比较了不同制备方法的优缺点......
金刚石具有许多优异的性能，但天然金刚石的价格也比较昂贵。金刚石薄膜的各种性质与天然金刚石几乎相同，具有非常广阔的工业前景。本......
碳微球因其独特结构和优异性能引起了科学界的重视，使之受到越来越多的关注。文章以乙炔和甲苯为原料，在一定的实验条件下，以化学气相......
