【摘 要】
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采用微波等离子化学气相沉积法，使用甲烷、氢气和二氧化碳作为反应气氛进行金刚石膜的沉积研究。实验中通过添加并改变气体组分中CO2/CH4比值金刚石膜在高碳源浓度条件的可控
【机 构】
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武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
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采用微波等离子化学气相沉积法，使用甲烷、氢气和二氧化碳作为反应气氛进行金刚石膜的沉积研究。实验中通过添加并改变气体组分中CO2/CH4比值金刚石膜在高碳源浓度条件的可控性生长。通过Raman光谱、X射线衍射（XRD）及SEM对金刚石膜的沉积质量，生长取向及表面形貌进行表征。结果表明，在其他参数保持一致时，在高甲烷下，只改变CO2/CH4比值可明显改变金刚石膜的表面形貌并提高金刚石膜的质量，实现纳米、（111）面及（100）面微米金刚石膜的可控性生长。
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