微机电相关论文
本文介绍了一个适合微机器人装配系统的视觉系统。针对均匀光照条件下的装配工作场景的图像特点及目标物体特征,研究了图像处理、目......
纳米压印是一种高效、低耗的复制加工方法,在微机电系统领域中具有很高的应用范围。相比传统的工艺而言,纳米压印复制方法在材料、......
【摘要】在《微机电系统》课程建设过程中,根据课程的特点,对其教学内容的选取和重点内容的确定方面进行了探讨和实践。认为要在充......
近年来随着微机电系统MEMS (Micro Electrical Mechanical System)的快速发展,基于MEMS的惯性器件正在被广泛的应用于各种领域。本......
为了研究微塑性成形尺寸效应在材料流动应力和显微组织方面的规律,在自行研制的精密微塑性成形系统上对L5纯铝圆柱形试样进行......
自从60年前的数字革命开始,电子行业已经发生了许多变化,但有一种情况却一直未变:每个电子系统中的同步数据传输参考频率由石英晶......
3 Magnetic Core Tuned InductorrnMagnetic core tuned inductor is tuned based on the magneto impedance effect[32].As the b......
2019 年中国兵工学会引信专业委员会、《探测与控制学报》编委会工作会于 2019 年 8 月 9 日至 11 日在贵阳市召开,来自院校、研究......
超精密机电系统是动力学敏感的大规模复杂系统,超精密运动机构是其核心部件。超精密机电系统达到纳米运动精度的根本技术手段是减小......
设计了一种工作于VHF频段的新型微机电谐振器,采用了一种以阵列方式降低谐振器动态电阻的方法,通过ANSYS有限元分析软件对谐振器进......
针对微机电系统(MEMS)中微小器件的表面刻蚀沟槽及台阶的测量,研制采用步进电机运动平台和微力电感测头,用变截面片簧作回转运动的......
设计了一种基于微镜阵与非色散红外瓦斯气体传感原理的长光程微型红外瓦斯气体浓度传感结构,该结构在有限面积内形成可靠光路,并可......
硅MEMS加速度仪可以用于地震以及各种工程振动的测量,目前其精度较低,温度灵敏度较高,为了掌握MEMS加速度计的特性,提高其实用性能......
主要介绍纳米技术的概念、技术特点及发展现状,并结合当今直升机技术的发展趋势,重点分析纳米技术在直升机上的应用前景,特别是纳米新......
微细加工技作为现代加工技术的延伸,是二十一世纪的关键技术之一。本文介绍了微机电系统的原理及特点,列举了一些微机电系统中所涉及......
论述了二阶∑-△调制器的基本原理,将∑-△调制技术应用于微加速度计系统设计,运用冲激响应不变法,建立了系统的离散时间模型。采用最......
频闪视觉测量和频闪干涉测量代表了目前先进的微机电系统动态测试技术,尤其在非接触无损测量技术有重要意义.通过微机电三维静动态......
受奥米亚棕蝇听觉系统特有结构的启发,提出一种能够测向的微机电(MEMS)矢量水听器设计思路,并进行了数值仿真研究。这种思路是利用ME......
为了能在较短的时间内让学生了解微机电系统的基础理论和应用,本文对微机电系统课程的特点做了一些分析,从微机电系统课程教学内容、......
提出了一种新型的俘能结构,其是利用压电效应并应用于微机电(MEMS)领域的设计。通常有效的能量捕获装置包括:悬臂梁类型的金属基层及与......
采用对比扭转微镜的静电力矩与机械回复力矩随角度的变化规律的方法,对串联电容后,扭转微镜吸合角的变化规律进行了数值仿真和解析......
压力传感器是一种将压力或压强转化为便于检测的信号,诸如光信号、电信号的检测装置。本文设计了基于微机电系统及迈克尔逊干涉仪的......
提出了一种基于微机电惯性传感器的四足机器人姿态检测系统和方法,由加速度传感器和角速度传感器模块组成,经数据计算可获取静态姿......
微/纳米科学与技术己成为人们在微观领域认识和改造世界的一种高新技术,得到世界上众多发达国家的高度重视,并被列为21世纪关键技术......
介绍了一种新型的微细加工方法,即微型立体成型法以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤,详细分析了该激励器在静电力作......
探讨了压电发电技术的研究价值及发展前景,参考了国内外众多压电发电技术方面的研究资料,并对其进行综合的比较研究。介绍了当今能源......
微电子技术作为现代信息技术的核心和关键在各个领域中的使用逐渐拓展。随着信息技术的发展,微电子技术由以前的二维加工转向三维加......
为了研究卡西米尔力对静电驱动微纳镜的影响,文章建立了考虑卡西米尔力的微纳镜扭转弯曲耦合模型的归一化参数方程.通过数值解分析......
为使陀螺仪进一步小型化、集成化,提出了一种新型单片集成三轴微机电陀螺仪,该陀螺仪采用单一MEMS结构芯片实现3个轴向角速度的测......
随着微机电技术的广泛应用,开发微型化的新型地震计成为发展趋势。本文分析了微机电速度型地震传感器的基本原理,根据实际需求,用m......
为抑制激光散斑现象,利用时间平均抑制散斑理论的基本思想,设计了一个具有高透射率、随机相位功能的超表面结构,并结合MEMS技术实......
微机电安全系统是实现引信小型化的关键技术之一。阐述了一种基于微机电技术的安全系统构造与作用原理,并选取安全系统的典型机构进......
本文在微机电(MEMS)技术上设计并加工出了一种新型基于SOI工艺的谐振式微扫描镜,设计了MEMS扫描镜机电特性测量系统,对MEMS扫描镜......
微型燃烧系统的特征长度很小,其流动、传热和燃烧具有的特性,与大尺寸的燃烧系统有许多不同.在进行微燃烧的实验研究中,实现对微燃......
以微机电制程制作微型燃料电池为研究基础,讨论了集电板开孔率、燃料对流方式、以及电池组装时锁紧力对性能之影响。实验结果表明,......
在科技领域中,物联网绝对是2015年最值得关注的焦点。物联网产品从手表、汽车、床、皮带,甚至到鞋垫,原先死板板、冷冰冰的硬体配......
可变发射率热控器件可替代机械式热控百叶窗,从而在航天器热控系统中得到应用,是微小卫星的关键技术之一.综述了该类器件的研究现......
提出一种哥氏力原理与光纤干涉测量相结合的新型微光机电陀螺仪,以达到更高的角速度测量精度。根据哥氏力原理微机电振动部分将输入......
分别介绍基于微机电MEMS技术的压力传感器、基于陶瓷电容技术的压力传感器和基于硅应变片技术的压力传感器,以及以上3种技术在汽车......
针对传统引信延期解除保险机构结构尺寸大、保险距离短和延时时间散布大等问题,设计了根据弹道实时信息实现延期解除保险的MEMS指......
装有微机电(MEMs)产品的手持式装置不胜枚举, 这些小小的传感器能加强手持式装置的智能感应和操控性能,过去数年在世界上产生了巨......