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有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器，仔细分析新结构的几个主要振动模态，优化结构参数，证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1000Hz／gn．而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点和对于测量的不良影响进行分析。
谐振式微加速度传感器的有限元分析
【摘 要】
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有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器，仔细分析新结构的几个主要振动模态，优化结构参数，证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1000Hz／gn．而且在有限元分析的
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2007年1期
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