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随着科学技术的日新月异,生产试验的高精度和高可靠度对高科技厂房结构的防微振要求也越来越高。振动的幅值从10微米提高到亚微米级......
随着科技的快速发展,趋于超精密化的精密仪器在诸如光学、微电子、半导体等产业广泛应用。微振动已经成为影响其正常工作的关键因......
采用有限元分析软件SAP2000,对某微电子厂房光刻区工作平台结构进行建模分析,通过对基底输入实测微振数据,计算平台的结构微振动响......
基于某微电子厂房微振动实测数据,采用有限元分析软件SAP2000对结构微振动响应进行模拟分析,得出工作平台上一些点的加速度时程曲线......
高科技精密仪器厂房,对环境微振动非常敏感,要求控制结构的振动位移和速度。本文利用Kanai-Tajimi功率谱密度函数,模拟由交通工具引起......