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平均电阻温度系数相关论文
应用于硅器件制造的离子注入
本文介绍离子注入应用于硅器件制造中的方法和设计指南。其中包括硅片在注入时的适当倾斜和在注入后为消除注入损伤所必要的热处理......
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