区熔再结晶相关论文
不采用隔离层和盖帽层结构可简化区熔再结晶工艺,在陶瓷衬底上制备出高质量的多晶硅薄膜.实验中衬底采用市售的电子级三氧化二铝陶......
本文研究了一种简单的区熔再结晶方法.通过改变区熔再结晶的气氛,简化了区熔再结晶的工艺.本文给出了相关实验结果并对相关机制进......
在SiO衬底上,利用快速热化学汽相沉积(RTCVD)及区熔再结晶(ZMR)方法,制备了多晶硅薄膜太阳电池,转换效率达到10.2﹪.......
该文在国内率先对陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳电池制作中的区熔再结晶技术进行初步研究,取得多项成果.研究了不同种类的陶瓷衬底材料对......
本文研究了多晶硅薄膜在红外溶区再结晶过程中溶化和固化前沿不同的推进行为，提出为了提高再结晶质量，熔区两则对所得到的辐射能流密......
该文研究了氮化硼、三氧化二铝、氧化锆陶瓷以及石英和微晶云母等衬底上多晶硅薄膜的一般生长规律和区熔再结晶.实验发现,在氮化硼......
采用常规CMOS硅栅工艺的4英寸圆片又形成批量生产能力。它们的电参数 可用于研究与灯区熔再结晶( Lamp ZMR)技术相关的问题的影响,......
采用简化的区熔再结晶工艺,即区熔过程中不采用隔离层和盖帽层结构,直接在陶瓷衬底上制备出高质量的多晶硅薄膜.实验中给出了用X射......
近年来，随着可持续发展，环境保护等观念的深入人心，以及常规化石能源的日渐枯竭，太阳电池研究的主要任务转到了如何成为替代能源的方向......
为了降低成本,加快太阳电池的产业化进程,发展薄膜太阳电池是光伏界研究的热点。本文主要研究陶瓷衬底上多晶硅薄膜太阳电池的制备......
从薄膜的沉积方式和沉积温度以及衬底材料等几方面综合分析了多晶硅薄膜制备工艺的特点及多晶硅薄膜太阳电池的最新研究进展。并以......
研究了区熔再结晶(ZMR)设备及其工艺特点.在覆盖SiO2的重掺P型单晶硅衬底上用快速热化学气相沉积(RTCVD)在其上沉积一层很薄的多晶......
