分步重复系统相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

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Optistep系列分步重复投影系统

美国加利福尼亚洲的Optimetrix公司最近研制成功Optistep系列分步重复投影曝光系统。该系统包括三台设备,即8010型10:1直接在片子......

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投影系统投影三台对准精度分步重复系统微米激光干涉仪气动轴承透镜成像生产能力

高分辨率光学光刻技术——一种准分子激光片子步进机

已研制成一种工作在248.4nm的远紫外分步重复系统,它是利用KnFK准分子激光器和常规设计的石英玻璃聚光镜与投影光路,对一种工业投......

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光刻技术准分子激光器高分辨率抗蚀剂分步重复系统数值孔径投影镜石英玻璃翻新改造投影光刻机

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