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半导体材料内部的一致性是实现微器件功能的重要保证。为实现半导体材料微体缺陷的无损、高效、和准确检测 ,在研究广义 L orenz- ......
针对经典两步相移算法对光强不均匀分布和物体不均匀反射率处理能力不强的问题,分析相移量为90°的情况,采用光强模型,直接对光强......
提出了利用近红外激光散射光强分布分析来检测半导体材料内部微体缺陷的检测方法.在研究广义洛仑兹-米氏理论(Generalized Lorenz-......
