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[期刊论文] 作者：庞世信,
来源：世界仪表与自动化 年份：1998
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[会议论文] 作者：庞世信,
来源：第四届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：1995
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[会议论文] 作者：刘沁,庞世信,
来源：第五届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：1997
该文对ＯＥＭ压力传感器及ＯＥＭ压力传感器的工作原理和结构设计进行了探讨，同时结合自己的工作给出了现已生产的ＯＥＭ压力传感器的精度和分析。介绍了ＯＥＭ传感器的广阔前景和应用领域。......
[期刊论文] 作者：唐伟,庞世信,
来源：仪表技术与传感器 年份：1995
本文分析了扩散硅压力传感器灵敏度温漂的各种曲线,同时给出了一种简单的温度补偿方法.这种方法虽然不能得到准确解,但是它的补偿结果非常好.采用这种方法补偿对所用的外围器...
[期刊论文] 作者：庞世信,郝永德,
来源：仪表技术与传感器 年份：1992
本文介绍了第二届全国敏感元件与传感器学术会议的一般情况,我国敏感元件与传感器研究及开发取得的可喜成绩,同时还介绍了半导体传感器和微机械加工技术的发展状况。...
[会议论文] 作者：庞世信,唐慧,
来源：第四届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：1995
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[期刊论文] 作者：庞世信,周成立,
来源：仪表技术与传感器 年份：1988
本文介绍了压力传感器的力敏元件膜片和基座之间的各种封接原理和工艺,对传感器的研制和生产真有一定的参考作用。This paper introduces the principle and process of va...
[期刊论文] 作者：徐淑霞,庞世信,
来源：仪表技术与传感器 年份：1991
本文介绍的扩散硅绝对压力力敏器件采用集成电路平面工艺、真空静电封接技术制造。器件灵敏度高、精度高、稳定性好。适合于测量粗真空度和制作绝对压力变送器。...
[期刊论文] 作者：庞世信,李妍君,
来源：仪表技术与传感器 年份：1996
本文介绍了工业压力变送器用全固态结构的ＳＧ－７５扩散硅压力传感器的研制。传感器压力范围０．１６￣５０ＭＰａ，满量程输出１２０￣２３０ｍＶ／０．７８ｍＡ，精度０．２％Ｆ．Ｓ，工作温区－３０￣９０℃，该传感器现已批量生产。......
[期刊论文] 作者：庞世信,李妍君,
来源：仪表技术与传感器 年份：1997
本文阐述了Ｅ型膜片的结构特性，根据其应力分布特点及硅材料在（１１０）晶面的〈１１１〉晶向上具有最大压阻系数，开展了力敏芯片的最佳设计，并进行了Ｅ型力敏器件的制作。最后给出了器件的主要技术......
[会议论文] 作者：庞世信,吴少青,
来源：第二届全国敏感元件传感器学术会议 年份：1991
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[会议论文] 作者：徐淑霞,庞世信,
来源：第五届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：1997
微机械加工工艺是制作微型三维结构的新技术，在硅传感器的研制中，用该工艺腐蚀敏感膜片。作者对微机械加工工艺的多种腐蚀液进行了研究，如ＥＰＷ，ＫＯＨ，ＴＭＡＨ等。腐蚀出含有矩形、多边形双硬心结构......
[会议论文] 作者：吕忠钢,庞世信,
来源：中国科协第二届青年学术年会卫星会议暨中国仪器仪表学会第二届青年科技大会 年份：1994
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[会议论文] 作者：徐淑霞,庞世信,
来源：中国仪器仪表学会'96沈阳传感器及应用学术会议 年份：1996
该文介绍了一种新型的小型低成本硅压力传感器。该传感器采用了国际上先进的微机械加工技术、大片静电封接技术，加上精巧的小型化封装结构设计，使制造成本大大降低。文中介绍了......
[会议论文] 作者：徐淑霞;庞世信;,
来源：第五届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：1997
小型硅压力传感器是一种市场需求量极大的通用型压力传感器。批量生产工艺的研究是把课题鉴定成果由实验室样品转化为商业化产品的一个重要环节。该文介绍了实现小型硅压力传...
[期刊论文] 作者：庞世信,刘沁,吕忠刚,
来源：电子仪器仪表用户 年份：1994
全固态通用型压力传感器、变送器沈阳仪器仪表工艺研究所庞世信，刘沁，吕忠刚扩散硅压力传感器与应变式等其它类型压力传感器相比具有很多优点，多年来一直是人们关注的重点。国外......
[期刊论文] 作者：庞世信,李妍君,唐伟,
来源：仪表技术与传感器 年份：1996
本文介绍了工业压力变送器用全固态结构的SG-75扩散硅压力传感器的研制。传感器压力范围0.16～50MPa,满量程输出120～230mV/0.78mA,精度0.2％F·S,工作温区-30～90℃。该传感器现已批...
[期刊论文] 作者：庞世信,李妍君,乔文华,
来源：仪表技术与传感器 年份：1997
本文阐述了Ｅ型膜片的结构特性，根据其应力分布特点及硅材料在（１１０）晶面的＜１１１＞晶向上具有最大压阻系数，开展了力敏芯片的最佳设计，并进行了Ｅ型力敏器件的制作。最后给出了器件的主要技术指标......
[期刊论文] 作者：庞世信,郝永德,于成民,
来源：仪表技术与传感器 年份：1992
本文介绍了第二届全国敏感元件与传感器学术会议的一般情况,我国敏感元件与传感器研究及开发取得的可喜成绩,同时还介绍了半导体传感器和微机械加工技术的发展状况。This a...
[期刊论文] 作者：庞世信,匡石,徐淑霞,
来源：真空 年份：1990
本文叙述了采用单晶硅压阻效应制作真空变送器的机理和关键工艺．给出了测量结 果和结论，讨论了该元件应用范围等问题。This paper describes the mechanism and key technolo...
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