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[期刊论文] 作者：洪义麟,付绍军,田扬超,陶晓明,
来源：仪器仪表学报 年份：1996
高精度ＬＩＧＡ掩模研究洪义麟，付绍军，田扬超，陶晓明（中国科技大学国家同步辐射实验室）０引言作者通过改进工艺、采用图形发生器直接在掩模基片上曝光及用离子束刻蚀这种干法腐蚀的方法代替...
[期刊论文] 作者：傅绍军,夏安东,洪义麟,田扬超,
来源：仪器仪表学报 年份：1996
一种制作量子尺寸超微细图形的新方法傅绍军，夏安东，洪义麟，田扬超（中国科技大学国家同步辐射实验室）０引言具有二维和三维量子限域作用的量子细线和量子点等量子微结构，目前已成为低...
[期刊论文] 作者：徐向东,洪义麟,
来源：物理 年份：1998
综述了用于Ｘ射线聚焦，成像的光学元件－Ｘ射线菲涅耳波带片及近几年才出现的布拉格－菲涅耳波带片的历史背景，基本概念，基本特征和主要类型，同时介绍了当前国际上Ｘ射线波带片的主要制作方......
[期刊论文] 作者：徐向东,洪义麟,
来源：物理 年份：1999
介绍了Ｘ射线毛细管光学元件的原理、特征和类型及其在蛋白质晶体学、微束衍射、微束光谱等方面应用新进展。...
[期刊论文] 作者：徐向东,洪义麟,
来源：光子学报 年份：2000
本文从实验角度对合肥国家同步辐射实验室软Ｘ射线束的空间相干性进行了研究。利用放置在物面上的高分辨正性光刻胶，记录了中心波长为３．２ｎｍ的波带片和针孔直径为３０μｍ组合的光场分布（光斑......
[期刊论文] 作者：徐向东,洪义麟,
来源：中国科学技术大学学报 年份：2000
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[期刊论文] 作者：付绍军,洪义麟,
来源：光学机械 年份：1991
本文介绍了用于软X射线波段的衍射元件-高精度波带片和金透射光栅的研制技术,国内外研究现状和发展趋势。...
[期刊论文] 作者：洪义麟,黄文浩,
来源：真空科学与技术 年份：1995
介绍了用离子束抛光法获得硅的超光滑表面的方法，并给出了不同抛光条件下表面粗糙的原子力显微镜（ＡＦＭ）测量结果，其中最好的表面粗糙度达０．１２ｎｍ（有效值）《...
[期刊论文] 作者：傅绍军,洪义麟,
来源：中国科学技术大学学报 年份：1995
采用全息－离子束刻蚀微细加工技术在石英基板上成功地刻蚀出了１２００线／ｍｍ，闪耀角５°１５’的锯齿槽形闪耀光栅，对全息光刻，显影等掩模制作工艺和离子束刻蚀参数的控制等进行了讨论，还给出了......
[期刊论文] 作者：洪义麟,田扬超,
来源：微细加工技术 年份：1999
简要介绍了利用ＬＩＧＡ技术中同步辐射光刻、微电铸技术制作α粒子编码成像波带片的研究，讨论了编码波带片的结构和影响带片的平面和层析分辨率的参数。根据实验要求设计和研制了一种......
[期刊论文] 作者：徐向东,洪义麟,傅绍军,
来源：真空科学与技术 年份：2003
针对全息离子束刻蚀衍射光栅制作中,光刻胶光栅浮雕图形的制作是至关重要和困难的,引入O2反应离子刻蚀对光刻胶光栅进行灰化处理,给出光刻胶灰化技术在全息离子束刻蚀衍射光...
[期刊论文] 作者：徐向东,周洪军,洪义麟,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2000
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[期刊论文] 作者：徐向军,周洪军,洪义麟,,
来源：物理学报 年份：2000
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[期刊论文] 作者：傅绍军，洪义麟，陶晓明,
来源：光学学报 年份：1994
本文报道了在研制聚酰亚胺衬底的软Ｘ射线透射光栅的基础上￣［１］，采用全息－离子束刻蚀方法和微电镀技术研制成功了无衬底自支撑的软ｘ射线针孔透射光栅，简要地介绍了工艺过程并给出了实验......
[期刊论文] 作者：付绍军,洪义麟,陶晓明,,
来源：光学机械 年份：1991
本文介绍了用于软X射线波段的衍射元件-高精度波带片和金透射光栅的研制技术,国内外研究现状和发展趋势。In this paper, we introduce the research and development of h...
[期刊论文] 作者：徐向东,洪义麟,刘颖,傅绍军,
来源：物理 年份：2005
衍射光栅是超高强度激光脉冲压缩器的核心元件之一,其高衍射效率、高损伤阈值和大尺寸的苛刻要求是普通商业光栅所远远不能满足的.文章对高强度激光超短脉冲压缩用衍射光栅的...
[期刊论文] 作者：徐向东,洪义麟,付绍军,张允武,
来源：物理 年份：1999
介绍了Ｘ射线毛细管光学元件的原理、特征和类型及其在蛋白质晶体学、微束衍射、微束光谱等方面应用新进展．The principle, characteristics and types of X - ray capillary...
[会议论文] 作者：徐向东,洪义麟,刘颖,傅绍军,
来源：第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 年份：2003
本文着重介绍真空紫外闪耀光栅、软X射线Laminar光栅和软X射线自支撑透射光栅的全息离子束刻蚀制作技术,给出相应的研制结果....
[期刊论文] 作者：徐向东,洪义麟,付绍军,张允武,
来源：光学技术 年份：1999
波带片的低衍射效率限制其在可见光波段的使用，可是在Ｘ射线波段，波带片是唯一达到衍射极限的光学元件，因而引起人们的极大兴趣。本文介绍了当前国际上Ｘ射线波带片的主要制作方法及......
[期刊论文] 作者：徐向东, 洪义麟, 傅绍军, 王占山,,
来源：物理 年份：2004
全息离子束刻蚀衍射光栅集中了机械刻划光栅的高效率和全息光栅的无鬼线、低杂散光、高信噪比的优点 .全息离子束刻蚀已作为常规工艺手段应用于真空紫外及软X射线衍射光栅的...
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