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简要介绍了利用ＬＩＧＡ技术中同步辐射光刻、微电铸技术制作α粒子编码成像波带片的研究，讨论了编码波带片的结构和影响带片的平面和层析分辨率的参数。根据实验要求设计和研制了一种α粒子编码成像波带片。
LIGA技术制作Fresnel波带片的研究
【摘 要】
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简要介绍了利用ＬＩＧＡ技术中同步辐射光刻、微电铸技术制作α粒子编码成像波带片的研究，讨论了编码波带片的结构和影响带片的平面和层析分辨率的参数。根据实验要求设计和研制了一种
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1999年1期
【基金项目】
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攀登计划B资助
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