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光敏聚酰亚胺的最新进展
光敏聚酰亚胺的最新进展
来源 :功能高分子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:succeeboss1
【摘 要】
:
综述光敏聚酰亚胺作为感光高分子的最新进展,着重叙述有机硅改性光敏聚酰亚胺、自增感光敏聚酰亚胺和含氟光敏聚酰亚胺的制备方法和性能研究。
【作 者】
:
冯威
李佐邦
朱普坤
王立新
李芳
【机 构】
:
河北工业大学化工系,河北工业大学化工系,河北工业大学化工系,河北工业大学化工系,河北工业大学化工系 天津300130,天津300130,天津300130,天津300130,天津300130
【出 处】
:
功能高分子学报
【发表日期】
:
1996年01期
【关键词】
:
感光高分子
光致抗蚀剂
有机硅改性
亚胺化
增感
光刻胶
含氟单体
聚硅氧烷
二氨基
光刻工艺
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综述光敏聚酰亚胺作为感光高分子的最新进展,着重叙述有机硅改性光敏聚酰亚胺、自增感光敏聚酰亚胺和含氟光敏聚酰亚胺的制备方法和性能研究。
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