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尽管许多年以来，浸泡式清洗技术是晶圆清洗的一种主要技术并且已经相当成熟，但近期内浸泡式清洗技术还是有不少新突破，特别针对90nm及90nm以下技术节点的晶圆清洗。在这个专栏，我们会介绍FSI International在浸泡式清洗技术取得的一些创新。
浸泡式清洗的新突破
【摘 要】
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尽管许多年以来，浸泡式清洗技术是晶圆清洗的一种主要技术并且已经相当成熟，但近期内浸泡式清洗技术还是有不少新突破，特别针对90nm及90nm以下技术节点的晶圆清洗。在这个专栏，我
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2006年6期
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