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由β－Ｓｉ３Ｎ４粉末通过一定的工艺条件得到致密的氮化硅陶瓷，试样的显微结构为短柱状和等轴状颗粒交织排列而成的均匀结构。材料的烧结过程分为重排晶形转变、晶粒生长三个阶段，随烧结时间增加，烧结试样的显微结构开始阶段变化很明显，２ｈ后结构比较稳定，温度升高有利于柱状颗粒长径比的提高，添加剂量的增加使显微结构粗化。