超细横向进给的控制

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1.前言在超精机械加工中,要求数控机床有超细的纵向和横向进给。图1(略)中所示的椭圆反射镜的生产,或用于生产这种反射镜的金刚石刀具的抛光就是一个例子。通常要求在20到2000N 的负载下,在1-2mm 范围内没有空程,分辨率为O.01μm。刚度不小于200N/μm。这 1. Introduction In the ultra-precision machining, CNC machine tools require ultra-fine vertical and horizontal feed. The production of elliptical mirrors shown in FIG. 1 (omitted), or the polishing of diamond tools used to produce such mirrors, is an example. It is usually required that there be no free space in the range of 1-2 mm with a resolution of 0.01 μm at a load of 20 to 2000 N. Stiffness not less than 200N / μm. This
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