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描述位置敏感探测器(PSD)的Lucovsky方程在一定简化条件下可求得解析解.提出了利用有限元分析软件FlexPDE对非简化Lucovsky方程进行二维区域数值求解的方法,并对四边型PSD进行了分析,结果表明该方法能够准确地分析二维PSD的光电特性,比解析法有更强的适应性.
基于FlexPDE的二维PSD数值分析
【摘 要】
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描述位置敏感探测器(PSD)的Lucovsky方程在一定简化条件下可求得解析解.提出了利用有限元分析软件FlexPDE对非简化Lucovsky方程进行二维区域数值求解的方法,并对四边型PSD进
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2004年1期
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