论文部分内容阅读
对影响金属氧化物薄膜气敏元件测量可靠性的因素-测试电压VT和湿度[H2O]进行了实验研究:给出了灵敏度Sn随测试电压VT变化的曲线,得出了存在一个Sn稳定的测试决压区间;给出了Sn随[H2O]变化曲线的形式,得出了Sn随[H2O]变化的相对起伏是大的结果;研究了相对灵敏度Sn′≡Sn(C0)/Sn(Cs),得出了Sn′基本不随湿度变化的结果。