AuSn焊料低温真空封装工艺研究

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在介绍半导体金锡(AuSn)焊料低温真空封装工艺的基础上,重点对AuSn焊料、真空度、炉温曲线设置等工艺技术方面进行了深入研讨。并就真空、炉温等方面作了相应的工艺实验,给出了最优化工艺条件解决方案。
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