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按照敏感原理，MEMS加速度传感器一般被分为压阻式、压电式、谐振器式、电容式、热电偶式、光纤式和电磁式等等，其中压阻式加速度传感器以动态响应特性及输出线性度较好、制作成本低、工艺简单等优点被广泛应用。对压阻式加速度传感器静态、动态特性检测方法有很多，常用的静态测试方法有翻转法、离心机、分度头、位移测试装置等，动态特性检测则根据器件量程不同测试环境存在差异，对于小量程的传感器常采用激震台装置，高量程的传感器则采用冲击法来完成。本文主要介绍了在自由落杆冲击装置下，一种自制高量程MEMS压阻式加速度传感器的冲击