双面PSD器件的工艺制作

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介绍了双面PSD器件的结构原理及其制作技术。重点介绍了双面对准技术,解决了双面PSD器件的工艺难题,研制出了灵敏度高、线性度好的双面PSD器件,为双面PSD器件的制作提供一条工艺技术途径。
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