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期刊论文
双面PSD器件的工艺制作
双面PSD器件的工艺制作
来源 :集成电路通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaozhi_1100
【摘 要】
:
介绍了双面PSD器件的结构原理及其制作技术。重点介绍了双面对准技术,解决了双面PSD器件的工艺难题,研制出了灵敏度高、线性度好的双面PSD器件,为双面PSD器件的制作提供一条工艺
【作 者】
:
汪继芳
陈计学
徐姗姗
【机 构】
:
中国兵器工业第214研究所
【出 处】
:
集成电路通讯
【发表日期】
:
2011年2期
【关键词】
:
双面PSD
双面光刻
氧化扩散
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介绍了双面PSD器件的结构原理及其制作技术。重点介绍了双面对准技术,解决了双面PSD器件的工艺难题,研制出了灵敏度高、线性度好的双面PSD器件,为双面PSD器件的制作提供一条工艺技术途径。
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