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激光在半导体加工行业（特别是硅材料）具有广阔的应用前景。激光与硅作用过程极其复杂，本文主要研究了紫外激光脉冲对硅进行烧蚀的形貌特征以及环境气体的影响。研究表明，紫外激光烧蚀硅产生激光等离子体的电离效应对烧蚀特性起了决定性的影响：气化、电离物的产生为材料的去除提供了条件，同时激光等离子体冲击波会把相变材料有效排出，激光等离子体光谱的电离效应则把空气中的氧元素有效电离并沉积到烧蚀产物中。