【摘 要】
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4H碳化硅（4H-SiC）单晶具有禁带宽度大、载流子迁移率高、热导率高和稳定性良好等优异特性，在高功率电力电子、射频/微波电子和量子信息等领域具有广阔的应用前景。经过多年的发展，6英寸（1英寸=2.54 cm）4H-SiC单晶衬底和同质外延薄膜已得到了产业化应用。然而，4H-SiC单晶中的总位错密度仍高达10~3～10~4 cm-2,阻碍了4H-SiC单晶潜力的充分发挥。本文介绍了4H-SiC单晶
【机 构】
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浙江理工大学物理系浙江省光场调控技术重点实验室
【基金项目】
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浙江省“尖兵”“领雁”研发攻关计划（2022C01021）； 国家重点研发计划（2018YFB2200101）； 国家自然科学基金重大研究计划项目（91964107）；
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4H碳化硅（4H-SiC）单晶具有禁带宽度大、载流子迁移率高、热导率高和稳定性良好等优异特性，在高功率电力电子、射频/微波电子和量子信息等领域具有广阔的应用前景。经过多年的发展，6英寸（1英寸=2.54 cm）4H-SiC单晶衬底和同质外延薄膜已得到了产业化应用。然而，4H-SiC单晶中的总位错密度仍高达10~3～10~4 cm-2,阻碍了4H-SiC单晶潜力的充分发挥。本文介绍了4H-SiC单晶中位错的主要类型，重点讲述4H-SiC单晶生长、衬底晶圆加工以及同质外延过程中位错的产生、转变和湮灭机理，并概述4H-SiC单晶中位错的表征方法，最后讲述了位错对4H-SiC单晶衬底和外延薄膜的性质，以及4H-SiC基功率器件性质的影响。
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