无位错硅单晶与长苞

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本文引用连续介质模型和点阵模型的理论及有关推导,近似计算了硅中产生位错以及使位错滑移运动所需的应力,从而导出合适的应力(在1010达因/厘米2数量极范围内)有利于排除硅单晶中的位错。长苞(或称鼓棱)一般是表征应力合适的一种现象,但是长苞所产生的应力并不是唯一的、理想的,最好采用其它方法产生合适的应力,使晶体沿着<111>方向顺利生长,以适应器件制造所需要的无位错硅单晶要求。
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