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Ni扩散LiNbO3脊形波导MZ调制器的制作技术
Ni扩散LiNbO3脊形波导MZ调制器的制作技术
来源 :集成电路通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaziaipao
【摘 要】
:
最近几年,宽带光通信系统已成为开发热点,并大大促进了高速集成光学器件的研究与发展。LiNbO3电光调制器由于有带宽较宽、可抑制啁啾性能、波长独立性等优点,是宽带光通信系统必
【作 者】
:
张瑞君
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第44研究所
【出 处】
:
集成电路通讯
【发表日期】
:
2004年2期
【关键词】
:
Ni扩散LiNbO3脊形波导
MZ调制器
湿法腐蚀
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最近几年,宽带光通信系统已成为开发热点,并大大促进了高速集成光学器件的研究与发展。LiNbO3电光调制器由于有带宽较宽、可抑制啁啾性能、波长独立性等优点,是宽带光通信系统必不可少的器件。目前LiNbO3调制器已取得很大进展,但由于LiNbO3具有高介电常数,使带宽受
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