【摘 要】
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先进微影材料的全球领导厂商——罗门哈斯电子材料公司微电子技术事业部与全球材料、应用技术及服务整合领导厂商——Dow Corning日前宣布延展双方的共同开发协议．以针对次65n
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先进微影材料的全球领导厂商——罗门哈斯电子材料公司微电子技术事业部与全球材料、应用技术及服务整合领导厂商——Dow Corning日前宣布延展双方的共同开发协议．以针对次65nm的闪存．DRAM和逻辑组件合作开发创新的旋涂式硅硬罩幕抗反射（spin—on silicon hardmask anti—reflective）涂层产品。
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