【摘 要】
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本文通过酸腐蚀织构法进行背面刻蚀.在富HNO3的腐蚀体系下,通过优化了HF/HNO3/H2O腐蚀体系的配比,调整了温度、液位和腐蚀重量;同时研究了不同腐蚀重量的反射率变化趋势和对
【机 构】
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中电投西安太阳能电力有限公司,陕西西安,710199
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本文通过酸腐蚀织构法进行背面刻蚀.在富HNO3的腐蚀体系下,通过优化了HF/HNO3/H2O腐蚀体系的配比,调整了温度、液位和腐蚀重量;同时研究了不同腐蚀重量的反射率变化趋势和对电性能影响结果.结果如下:腐蚀重量控制在0.21-0.25g之间的效果最好,转换效率Eta较产线提升了0.1％,Isc较产线提升37mA,Uoc较产线提升0.6mV;在更大的腐蚀重量下,反射率也随之增大,电性能的提升幅度没有随着反射率增大的方向递增.
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