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本文报道了XeCl准分子激光对光学薄膜的损伤阈值、损伤形貌和多脉冲激光的损伤。研究了激光预辐照处理对薄膜损伤的影响。
准分子激光对光学薄膜的损伤
【摘 要】
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本文报道了XeCl准分子激光对光学薄膜的损伤阈值、损伤形貌和多脉冲激光的损伤。研究了激光预辐照处理对薄膜损伤的影响。
【机 构】
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中国科学院上海光机所,上海201800
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1993年20期
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