厚底板上薄膜热释电探测器性能的分析

来源 :红外研究(A辑) | 被引量 : 0次 | 上传用户:z30405060
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本文比较了一维热扩散理论的简化表达式的计算结果与数值计算结果,进一步讨论了厚底板上薄膜热释电探测器的最佳化问题,指出厚底板上1μm厚的最佳化热释电器件的性能与10μm厚的悬空器件相近。 In this paper, the computational results and numerical results of simplified expressions of one-dimensional thermal diffusion theory are compared. The optimization of the thin film pyroelectric detector on a thick floor is further discussed. The optimum heat release The performance of the electrical device is similar to that of a 10μm thick floating device.
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