论文部分内容阅读
采用近空间升华沉积法CSS（Close space sublimation），在3种不同升温过程中沉积制备CdTe多品薄膜，通过实验数据作出其升温曲线，采用扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、微电流高阻计等方法对沉积膜的性能进行测试分析．研究了在CSS法中控制升温过程对cdTe生长沉积机制及其沉积质量的影响．结果表明升温过程对cdTe多晶薄膜的沉积过程有重要的影响．其中，以氢气刻蚀后拉开衬底与升华源之间的设定温差，并保持固定温差至设定温度的升温过程的沉积质量最佳．