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采用近空间升华法分别在玻璃、CdS及CdS1-xTex衬底上沉积了CdTe多晶薄膜，通过原子力显微镜的观察和X射线衍射的分析，比较了它们的微结构。结果表明，用CdS和CdS1-xTex多晶薄膜作为衬底沉积的cm多晶薄膜结构与衬底相似，具有（111）面择优取向。通过对在不同氧分压下进行后处理的CdS／CdTe薄膜的断面及光能隙的研究，发现在氮氧（4：1）气氛下后处理的薄膜CdS层明显减薄，这样的结果有利于改善CdTe太阳电池的光谱响应，增加载流子收集。我们认为氧在退火中促进了CdS／CdTe界面互扩散，扩散