【摘 要】
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对ISO(International Organization for Standardization)6级上送侧回模式的乱流电子洁净室进行了数值模拟,运用计算流体力学方法探讨了送风量大小、送风口个数以及位置、工作台与送风口正对方式等因素对电子洁净室内空气环境的影响.结果 表明:送风口正对工作台布置可以抑制工作台上方的热羽流,设备之间布置送风口可以抑制工作台之间的热羽流;送风口与工作台平行正对布置形式下气流组织优于送风口与工作台正交正对的布置形式;送风口集中布置在设备附近,并保证送风口的风速,有助于保障电
【机 构】
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武汉大学动力与机械学院,湖北武汉430072
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对ISO(International Organization for Standardization)6级上送侧回模式的乱流电子洁净室进行了数值模拟,运用计算流体力学方法探讨了送风量大小、送风口个数以及位置、工作台与送风口正对方式等因素对电子洁净室内空气环境的影响.结果 表明:送风口正对工作台布置可以抑制工作台上方的热羽流,设备之间布置送风口可以抑制工作台之间的热羽流;送风口与工作台平行正对布置形式下气流组织优于送风口与工作台正交正对的布置形式;送风口集中布置在设备附近,并保证送风口的风速,有助于保障电子洁净室主流区域的气流单向性.数值模拟结果可为乱流电子洁净室的送风口布置提供可行性的建议.
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