洁净室中的静电污染

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【摘要】

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洁净室静电危害主要有静电击穿和微粒子吸附两种。静电击穿产生的原因是静电放电(简称为ESD；E1ectro Static Discharge)；微粒子吸附主要与静电力(库仑力)、重力和扩散作用为主

【作者】

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【机构】

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天津大学

【出处】

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电子电路与贴装

【发表日期】

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2003年3期

【关键词】

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洁净室静电危害主要有静电击穿和微粒子吸附两种。静电击穿产生的原因是静电放电(简称为ESD；E1ectro Static Discharge)；微粒子吸附主要与静电力(库仑力)、重力和扩散作用为主的三个作用力有关。所有这些静电危害都会给洁净生产造成影响。

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