二等标准真空校准装置的研制

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一、概述为了开展对量大、面广的电离真空计的相对检定及测试,需要有一套二等标准真空校准装置。过去,虽然曾出现过金属的相对检定系统,但产品不能达到原设计指标,难以投入使用,造价也高。为此,我们研制了一套实用而价格较低的、玻璃的二等标准真空校准装置。该装置的工作原理是:调节进入该标准装 First, an overview In order to carry out large-scale, wide range of ionization vacuum gauge relative verification and testing, you need to have a second-class standard vacuum calibration device. In the past, although there has been a metal relative verification system, but the product can not meet the original design targets, difficult to put into use, the cost is high. To this end, we have developed a set of practical and lower prices, glass, second-class standard vacuum calibration device. The working principle of the device is: adjust into the standard equipment
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