GaAs集成电路的金属化缺陷失效定位研究

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:stwl1976
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
介绍了一种针对砷化镓集成电路(GaAs IC)金属化缺陷的失效定位方法。首先分析了GaAs IC不同金属化结构(如金属化互连、MIM结构、肖特基接触电极)的光发射显微及光致电阻变化(EMMI/OBIRCH)效应,再结合典型的电路原理,得到可能的电路缺陷模型与EMMI/OBIRCH结果之间的对应关系,从而快速、准确地由EMMI/OBIRCH图像得到金属化开路或者短路失效位置。案例研究结果表明,该方法可用于GaAs IC的失效定位,例如放大器、高速数字驱动电路、射频开关等,适用的失效模式包括基极金属化台阶断裂、源极金属通孔开裂形成的开路或MIM金属化桥连形成的低阻等。
其他文献
随着国家倡导制造业高质量发展,中国制造业转型升级的政策支撑体系基本成型,我国的政策规划为制造企业转型升级创造了良好的外部市场环境,从而有效降低了产业政策的风险。但是,转型升级仍然对企业来说是巨大的挑战,企业面临的风险已经更加复杂,甚至出现一些从前根本不存在的风险。同时,存在着不少像A公司一样电子信息制造企业,处在智能化转型升级过程中,存在着比较淡薄的风险管理意识以及企业风险管理体系不够完善的问题。
南京花山大桥主桥为100 m+50 m+100 m斜拉桥,采用纵立面向一侧倾斜的心形钢拱塔,钢混结合段是整个拱塔施工的关键部位。为了保证异形拱塔钢混结合段的施工质量和效率,采用专门设计的组合式钢模板和钢结构制造工艺控制拱塔几何形态;采用定位胎架和手拉葫芦(或千斤顶)对钢混结合段钢结构进行精确定位和调整;采用补偿收缩混凝土,并采取分层浇筑、附着式振捣与插入式振捣结合、易脱空部位压浆等工艺保证钢混结合
卫星通用平台是中国空间技术研究院的核心产品,也是核心竞争力之一。本文从国外的典型通用平台进行综合调研,从平台的更型换代周期、性能、基于平台的研制模式等不同维度,与研究院现有卫星平台管理工作比对,找差距,提出后续工作思路和建议。
2020年以来,受新冠疫情蔓延、全球经济衰退、国际油价低位震荡影响,油气田企业勘探开发业务受到直接冲击,生存发展面临重大挑战。低油价下求生存谋发展,必须推进低成本发展战略,这是市场法则,也是生存之道。为此,本文研究主体A油田积极应对油价断崖下跌、疫情全球蔓延等不利影响,扎实推进提质增效,聚焦全力提升经济效益,积极探索并建立以全面预算管理、精益成本管理、财务运营创效、业财双向互联机制为抓手的低成本发
波普艺术诞生于二十世纪五六十年代,此时的西方社会在消费主义盛行的同时,也已经进入高级传媒时代。消费主义倾向于通过创造和运用新媒介材料展示人的社会存在,消费和媒介联系紧密,并在当代艺术的展示性中获得了统一。波普艺术沿袭了达达主义的特点,在媒介环境与消费主义的共同作用之下,呈现出与传统的艺术形式不同的媒介特征和艺术风格,波普艺术作为流行艺术的滥觞,对现当代世界范围内的流行文化都产生了深刻影响,在艺术史
<正> 近年来,笔者运用自拟的通痹止痛浸剂治疗手足痹痛,经临床反复验证,一般使用二剂即效。适应证:用于手足关节肌肉痹痛,包括风湿性关节炎、类风湿性关节炎、关节周围纤维组织炎等。但局部红肿灼痛,证属风湿热痹者不可使用。
期刊
为揭示组合梁斜拉桥在悬拼施工时,索梁锚固区斜向裂缝的开裂机理,从实际受力状态出发,分析了该区域桥面板剪应力和正应力的分布特点,并结合应力莫尔圆理论给出了裂缝成因及其形态特征;基于相关规范及桁架模型,提出了斜向配筋和L形配筋设计的抗裂措施;并通过台州湾跨海大桥实例分析,验证了锚固区桥面板的应力分布特点以及配筋方法的有效性。研究结果表明:悬拼施工时,锚固区桥面板的面内剪应力主要由斜拉索索力的纵向分量和
课程思政是提升高职院校会计专业课程质量的重要途径,《会计职业基础》作为财经商贸类专业的核心基础课程,肩负着课程思政改革突破的重大使命,当前该课程思政实践中存在着“单调式”思政案例和“贴标式”思政活动的状况。为了加强专业课程与思政元素的融合度,尝试通过制定和运用“三核联动”思政体系,将“三集三提”教研方式、“新实多适”教学模式以及“三层四步”实践路径引入课前、课中及课后活动中,有效提升了课程思政的教
搭建了一种基于激光雷达/卫星融合的点云构图实验教学平台,包括基于Airsim的虚拟仿真平台与基于无人车的物理平台。在虚拟仿真平台中,完成了Linux操作系统下的仿真场景搭建,以及激光雷达点云、卫星导航数据仿真;在物理平台中,搭建了包含激光雷达、卫星传感器的无人车实验系统。在上述两类平台基础上,实现了激光雷达和卫星的数据采集、点云分割、特征提取、激光雷达里程计以及激光雷达/卫星融合软件设计。经测试,
由于独特的结构特征和新颖的物理特性,Ⅲ-Ⅴ族纳米线一直是半导体光电子学领域的研究热点。近年来,Ⅲ-Ⅴ族纳米线及其异质结构的制备取得了长足的进步,并在新一代激光器、探测器、太阳能电池等光电子器件中展现出巨大的应用潜力。归纳了近期Ⅲ-Ⅴ族纳米线的主要研究进展,包括Ⅲ-Ⅴ族纳米线的可控生长技术、Ⅲ-Ⅴ族纳米线异质结构的制备途径与物理特性、Ⅲ-Ⅴ族纳米线光电子器件的主要进展等,并展望了就该领域的主要挑战和