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在1.2u大规模集成电路生产中用扫描电镜诊断双层金属布线缺陷
【机 构】
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贝岭微电子有限公司
【出 处】
：
第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会
【发表日期】
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1997年期
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