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用热蒸发和自然氧化法制备纳米量级Al/Al<,2>O<,3>多层膜.检测XPS光电子能谱和UPS谱线,得到E<,i>(k<,i>″)关系曲线,并发现薄膜具有负阻特性.
纳米AlAl,2O,3多层膜的光电子谱与电性能
【摘 要】
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用热蒸发和自然氧化法制备纳米量级Al/AlO多层膜.检测XPS光电子能谱和UPS谱线,得到E(k″)关系曲线,并发现薄膜具有负阻特性.
【机 构】
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大连铁道学院(大连)澳大利亚新南威尔士大学光伏工程研究中心(新南威尔士)
【出 处】
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第二届全国纳米技术与应用学术会议
【发表日期】
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2002年11期
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