PtSi/n—Si肖特基势垒二极管的研制

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本文利用PtSi/n-Si接触试制成一种新的肖特基势垒二极管,其反向击穿电压一般在15V以上,最高达到35V。测试了它的I-V特性,并与理论计算结果进行了比较和分析。 In this paper, a new Schottky barrier diode is fabricated by PtSi / n-Si contact test. Its reverse breakdown voltage is generally above 15V and up to 35V. Its I-V characteristics were tested and compared with the theoretical calculation results.
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