【摘 要】
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气悬浮运动系统的面向玻璃基板减小了电机摩擦力的影响,在非接触式传输领域具有磨损小、寿命长、污染低、速度高、精密度高等特点,在高加速度高速度精密加工装备领域中应用得
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气悬浮运动系统的面向玻璃基板减小了电机摩擦力的影响,在非接触式传输领域具有磨损小、寿命长、污染低、速度高、精密度高等特点,在高加速度高速度精密加工装备领域中应用得越来越多。要满足速度和精度的要求,这样就需要气悬浮平台产生平稳的推力,而平台平稳的推力取决于直线电机得到平滑的圆形磁链,电机的定子三相电流有越高的正弦度,推力就会越平稳。对系统运用电流滞环控制可以使定子三相电流跟随给定的三相电流,使得定子三相电流严格的正弦,从而得到平滑的圆形磁链以及平稳的推力。
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