【摘 要】
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１前言碳化硅材料具有很高的强度和硬度、低的热膨胀系数和良好的导热性能，是一种重要的高温结构材料和高温半导体材料［１］，有比较好的热稳定性和较高的击穿电压及宽广的能带结构．研究
【机 构】
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清华大学核能技术设计研究院新材料室
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１前言碳化硅材料具有很高的强度和硬度、低的热膨胀系数和良好的导热性能，是一种重要的高温结构材料和高温半导体材料［１］，有比较好的热稳定性和较高的击穿电压及宽广的能带结构．研究表明，在抗氧化温度低于１８００ｏＣ时，它是最好的抗氧化涂层材料［２］．碳化硅...
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