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本文研究了一种具有广泛适应性的微机械制造方法，该方法可用于制备各种不同的器件，包括硅微陀螺仪、加速度计、剪切应力传感器以及光开关等。利用该方法，制备了硅微陀螺仪，并给出了所制备的硅微陀螺仪的性能测试结果，同时分析了利用该制备方法制备各种不同器件时，工艺流程对器件性能的影响，重点讨论了硅-玻璃阳极键合、减薄工艺以及深刻蚀所形成的侧壁质量，包括侧壁垂直度、侧壁杂质等因素对器件性能的影响。