【摘 要】
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类金刚石膜是一种由sp~3和sp~2混合的亚稳态碳膜。因其良好的力学性能、较低的摩擦系数、优异的抗磨损性能，在石油、航空航天、汽车零部件、医学和光学领域被广泛应用。但因类金刚石膜中存在大的内应力，类金刚石膜的厚度受到限制，而在摩擦磨损过程中很易被损坏，极大限制了类金刚石膜在某些领域的应用。概述了类金刚石膜的组织特点、主要制备方法。同时归纳了厚类金刚石膜的研究现状及降低DLC涂层内应力方面的研究进展
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（51861031）；
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类金刚石膜是一种由sp~3和sp~2混合的亚稳态碳膜。因其良好的力学性能、较低的摩擦系数、优异的抗磨损性能，在石油、航空航天、汽车零部件、医学和光学领域被广泛应用。但因类金刚石膜中存在大的内应力，类金刚石膜的厚度受到限制，而在摩擦磨损过程中很易被损坏，极大限制了类金刚石膜在某些领域的应用。概述了类金刚石膜的组织特点、主要制备方法。同时归纳了厚类金刚石膜的研究现状及降低DLC涂层内应力方面的研究进展，并对目前研究成果中存在的问题进行了总结。
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