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氟化类金刚石(FDLC)薄膜是在传统类金刚石膜基础上发展起来的一种新型表面改性材料.本文简述了FDLC薄膜的结构、性能,重点介绍了其制备工艺,讨论了源气体的种类和退火工艺对薄膜的影响.
氟化类金刚石薄膜的研究进展
【摘 要】
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氟化类金刚石(FDLC)薄膜是在传统类金刚石膜基础上发展起来的一种新型表面改性材料.本文简述了FDLC薄膜的结构、性能,重点介绍了其制备工艺,讨论了源气体的种类和退火工艺对
【机 构】
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大连理工大学化工学院,大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2004年4期
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