在线测量检测技术与装备是保证集成电路（IC）制造质量和良率的唯一有效技术手段，在IC制造过程中必须对IC纳米结构的关键尺寸、套刻误差，以及缺陷等进行快速、非破坏、精确测量与检测。本文首先从尺寸测量和缺陷检测两个方面介绍了IC制造在线光学测量检测技术的研究现状。在此基础上，进一步分析了先进技术节点中所面临的一些新的纳米测量挑战，如更小的特征尺寸、更复杂的三维结构。最后，展望了IC制造在线光学测量检测
针对透明物体后表面的寄生反射对单视角下表面缺陷光学检测的干扰问题。本文提出了基于条纹调制的透明物体表面缺陷检测方法，以消除后表面的寄生反射。首先为分析透明物体对入射光通量的影响，建立了基于条纹投影的透明物体光学成像模型。该模型揭示了透明物体双表面的形貌变化可以由双形貌参数来表征，且双参数共同构成余弦分布的平均强度和对比强度。然后，本文提出了一种多频时域迭代策略以估计表面的双形貌参数，通过投影多频条
为降低多种因素影响导致的精密光学元件表面缺陷面积测量结果不稳定性的问题，研究基于光谱技术的精密光学元件表面缺陷面积测量方法。选取精密光学元件钕玻璃板为测试样品，搭建多光谱冠层成像仪装置测量台，选择指定样品表面缺陷图像光谱并将其融合，由指定波段的光谱图像分量构成样品表面缺陷图像，重构多光谱图像，通过光线跟踪算法获取样品表面缺陷面积测量结果。实验分析可知：光谱波段范围为365 nm～550 nm范围内
本文提出了一种基于空间像的极紫外光刻掩模相位型缺陷检测方法，用于检测多层膜相位型缺陷的类型、位置和表面形貌。缺陷的类型、位置和表面形貌均会影响含缺陷掩模的空间像分布。因此，采用深度学习模型构建含缺陷掩模空间像与待测缺陷信息之间的映射，利用训练后模型可从含缺陷掩模空间像中获取待测缺陷信息。采用卷积神经网络（CNN）模型构建含缺陷空白掩模空间像和缺陷类型与位置之间的关系，建立用于缺陷类型与位置检测的C
文化负载词承载着独特的地方文化内涵，然而台州和合文化负载词的英译中却存在过度归化、过度异化以及机械翻译等问题。台州和合文化负载词翻译应以目的论三原则为指导，不能简单且绝对地采用归化或异化翻译，可以在归化、异化的基础上适当增加注释，使台州和合文化负载词英译更加精准晓畅。
＜正＞主任、各位副主任、秘书长、各位委员:我受市人民政府委托,对《关于青岛国际邮轮港开展法定机构试点工作的决定（草案）》作如下说明。为全面贯彻落实党的十八届三中、四中、五中全会和中共中央、国务院《关于深化体制机制改革加快实施创新驱动发展战略的若干意见》（中发[2015]8号）精神,运用法治思维和法治方式深入推进政府职能转变,通过体制机制创新驱动发展,激发功能区改革活力,
目的:观察分析慢性盆腔炎采取妇产科临床治疗的效果。方法:在2017年6月～2019年6月,我院收治慢性盆腔炎患者122例,基于随机分层法进行两组划分,一组单用西药治疗（对照组）、一组另结合中药治疗（联合组）,比较两组不同的用药效果以及不良反应。结果:联合组用药治疗整体效果95.1%与对照组治疗效果78.7%相较可见更佳（P＜0.05）;用药致不良反应的发生率9.8%、8.2%比较,差异值不大（P＞