碳化硅表面硅改性层的特性研究

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kwatog
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
为了获得具有高质量光学表面的非球面碳化硅反射镜,需对碳化硅反射镜表面进行改性。介绍了离子束辅助沉积硅的碳化硅表面改性技术。对改性样片表面硅改性层的机械性能、光学加工性、表面粗糙度及反射率等特性进行研究。实验结果表明,碳化硅表面的硅改性层具有优良的机械性能和良好的光学加工性。光学抛光后,碳化硅表面硅改性层的表面粗糙度为0.85nm[均方根(RMS)值],在可见光波段反射率最高可达98.5%(镀银反射膜)。采用数控加工方法对口径为垂600mm的表面改性离轴非球面碳化硅反射镜进行加工,最终反射镜面形精度的RMS
其他文献
随着农村金融体制改革的深入,农村小额信贷得到了长足发展。然而,我国的利率管制措施限制了小额信贷的可持续发展。本文以山东省桓台县为例,利用Rosenberg模型对农村小额信贷
大量的英汉类动物词汇已经开始广泛运用于我们的生活和学习中,而它们就像是语言传播的使者一样,承载着极其丰富的文化内涵。该文通过归纳和整理英汉动物类词汇,研究与之相关
<正>16年前,杨澜开办了中国电视史上第一个一对一的高端访谈节目。当时,这档以个人名字命名的栏目在中国电视界史无前例,给当时的电视界注入了一缕清风。《杨澜访谈录》是"阳
泌尿系统感染以革兰阴性菌为主 ,其中以大肠埃希菌最常见 ,其次为革兰阳性菌 ,以葡萄球菌、肠球菌为主。近年来细菌耐药日趋严重 ,各种泌尿系统病原菌的耐药机制各不相同 ,超
对现有生态经济区理论和实践的梳理,认为促使生态经济区建设的充分、必然条件是自然的可能性、经济的可行性、政策的可容性和民众的选择性。现实中,自然的可能性和政策的可容
目的探讨彩色多普勒超声诊断胎儿心脏畸形的临床价值。方法采用彩色多普勒超声对148例孕龄20周~41周的胎儿心脏行超声检查,研究正常胎儿心脏各切面的扫查方法、胎儿心脏各腔室
根据能质平衡基本原理,利用迭代优化方法建立了回转窑工序燃耗优化模型,并基于Matlab平台开发了模拟计算软件。为验证模型的可靠性和适用性,将某企业实际生产参数带入该模型,
目的分析硫酸沙丁胺醇气雾剂吸入联合茶碱控释片治疗急诊老年哮喘的效果。方法选取88例老年哮喘患者,将其随机均分为对照组和观察组,对照组患者使用硫酸沙丁胺醇气雾剂吸入治
目的分析总结手外伤急诊治疗的方法与体会。方法选择2009年2月~2010年8月本院收治的125例手外伤患者的急诊治疗资料进行系统的回顾性分析。结果125例患者中,有117例患者(93.6%)经系
将聚醚改性聚二甲基硅烷(PMPDMS)与α-SiC微粉按一定比例充分混合,于120℃烘干12h后碾碎,放入刚玉坩埚内,在N2保护下以一定的加热制度进行热处理,然后分析其相组成、比表面积、烧结