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本文讨论了扫描俄歇微探针的绝缘介质膜分析，重点研究了氮化硅介质膜的ＳＡＭ分析，借鉴国内外绝缘介质膜的ＳＡＭ的研究成果，通过多种方法消除电荷积累效应，克服ＳＡＭ仪器本身的局限，取得了满意的分析结果。
氮化硅绝缘介质膜的SAM分析研究
【摘 要】
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本文讨论了扫描俄歇微探针的绝缘介质膜分析，重点研究了氮化硅介质膜的ＳＡＭ分析，借鉴国内外绝缘介质膜的ＳＡＭ的研究成果，通过多种方法消除电荷积累效应，克服ＳＡＭ仪器本身的局限，取得了满意的分
【机 构】
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中国华晶电子集团公司技术支援中心,214061
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1996年6期
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